ウェーハを温かく保つために：IRヒーターの真実
スマートファブを運営している方なら、ウェーハや基板を移動させる際の苦労がよくわかるでしょう。輸送中に温度が少しでも下がってしまうと、問題が発生します。そのため、私たちはトロリーヒーターとして短波形の赤外線を使用しています。
最も良い点は、赤外線が放射熱を利用することです。空気を循環させる必要がないため、クリーンルームにおいては非常に便利です。空気の流れがないということは、不要な粒子が浮遊する心配もありません。シンプルです。
正確なデータの取得
今日では、記録されていなければ、何も起こっていないとみなされます。私たちは、自社のIRシステムが既存の設備と連携するようにしています。PLCにPIDコントローラーを接続すれば、温度分布の変化をリアルタイムで把握できます。まるで、熱処理の様子をデジタル上で確認できるようなものです。どの程度の熱が加えられているかが明確にわかります。推測の必要はありません。
速度と出力
私たちは速度を重視してこの装置を設計しました。短波形の赤外線ランプは、数秒で目標温度に到達します。古い抵抗式ヒーターのように、遅延の心配もありません。
トロリーの大きさを抑えるために、高ワット密度のランプを使用しています。ただし、注意が必要です。これらのランプは多量の電流を消費します。迅速に温度を上げたい場合は、ケーブルや電源回路がピーク負荷に耐えられるかを確認してください。最も熱が必要な時に電圧降下が起きては困ります。
クリーンルームでの制約
クリーンな環境を維持するために、石英製のカバーを使用しています。石英はガスを放出せず、粒子も出ません。しかし、石英は壊れやすいのが欠点です。精密な作業には適していますが、衝撃には弱いのです。そのため、トロリーのフレームにしっかりとした保護装置を取り付けて、ランプを守る必要があります。ランプが破損すると、真空状態やクリーンルームの環境が台無しになってしまいます。手間を省くために、モジュール式の設計をお勧めします。そうすれば、ランプが故障してもすぐに交換でき、長時間の停止を避けることができます。