リソグラフィー用ソフトベイク加熱素子
リソグラフィーの工程では、ソフトベイクの温度は単なる希望値ではなく、厳守すべき基準です。すべてのウェハー上で、端から端まで一貫した溶剤除去が必要です。わずか数度の温度変動やホットスポットがあるだけで、CDの精度が崩れてしまいます。私たちは、この基準を守り続けられるような加熱素子を開発しました。
技...
壁掛け式パティオヒーター
夜になると寒くなりますが、それでもパティオは人でいっぱいになります。壁面に取り付けられたパティオヒーターを使えば、床のスペースを取らずに、好きな場所を快適に暖めることができます。また、みんなが一か所に集まって暖を取る必要もありません。
仕組みについて この屋外用電気ヒーターは、高効率の赤外線ヒータ...
石英ハロゲン赤外線発信器
ファブの現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェハの重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。そうなると、多くのウェハが廃棄されてしまいます。ウェハ全体の温度均一性や、再現性の高いフォトレジストの特性は理論上の話ではありません。これらこそが、歩留まりを守るために毎シフトで確実に実行...
大容量のプラターハイター
外での夜時間は、空気が冷え込むと急に終わってしまいます。テラスやデッキは静かになり、みんな家の中に戻ってしまいます。ちょうど雰囲気が良くなってきたその時です。このような状況を防ぐためには、大容量のパティオヒーターが役立ちます。そして、最も効果的なのは、部品から梱包まで信頼できる製品を使うことです。...
ニコン ステッパーランプの交換
ファブの現場では、ステッパーランプは単に照明をするためだけのものではありません。それは、各種フォトレジストの加熱処理における熱管理を行うための重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に1℃でも温度が変動すれば、精密な寸法制御が困難になります。そうなるとラインの稼働が停止してしまいます。私たち...
小売店用ヒーター
寒い朝に店舗に足を踏み入れると、最初のお客さんたちがドアの近くでゆっくりと動いているのが見えます。寒さが増していくにつれて、彼らの動きはさらに遅くなります。そんな時、私たちが開発した赤外線ヒーターが役立ちます。まるで太陽の光のように、必要な場所にすぐに暖かさが届き、心地よさをもたらします。
技術的...
炭化ケイ素 SiC ファーネスランプ
実際の工程においては、熱ドリフトというのは理論上の概念に過ぎず、実用性はない。ウェハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、エンカプセル剤の硬化処理、そして洗浄後の乾燥など、すべてが厳格な温度管理のもとで行われる。もし設定された温度が保てなければ、寸法制御が乱れ、接着力が低下し、最終的...
ハロゲン式パティオヒーター
夜が訪れ、外の空気はとても冷たくなります。来客たちは袖をまくり上げ、会話も次第に静かになっていき、夜は早く終わりを迎えようとしています。しかし、ハロゲン式のパティオヒーターなら、その状況を変えることができます。すぐに温かさを提供し、音もほとんど出ず、火を使った場合のような煙や有害物質もありません。...
卸売用電気ヒーター
どのホーム＆ガーデン系のフィードを見ても、同じような光景が見られます。日没後にはデッキが明るく照らされ、友人たちが少し長くそこに留まります。また、パティオヒーターからは絶え間ない光が放たれ、季節を延ばしてくれます。ただし、多くの屋外用ヒーターは、暖かくなるまでに時間がかかったり、空気を循環させるだ...
業務用ファンヒーター
こうしたオフグリッドの生活環境では、太陽が時間の流れを決め、夜が支配的な役割を果たします。気温が下がると、重要なのはどれだけ暖かくなれるかということだけでなく、自分でどれだけの暖かさを得られるかということです。赤外線ヒーターと太陽光発電装置を組み合わせれば、ほとんどの人が思っているよりもずっと高い...
ウエハー除湿ヒーターランプ
300mm工程においては、洗浄後に残った水分が問題となります。これは、手遅れになって初めてその影響が現れるのです。この水分はフォトレジスト層に入り込み、熱バランスを乱し、露光後には不良品を引き起こします。ウェーハ上の水分を除去するためのヒーターランプは、このような問題を根本的に解決するために設計さ...
電気式エアヒーター
商業施設において、不適切な暖房設定をすると、人々が寒さに苦しむだけでなく、作業の効率も低下し、コストも増加します。たとえサーモスタットが異なる設定を示していても同様です。私たちは単なる販売業者としてではなく、快適な温度環境を実現するための問題解決者として取り組みます。私たちの電気式ヒーターは、空気...
ウェーハ加熱に関する技術サポート
リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変動だけでもCDのバイアスが規格を外れてしまうことをすぐに理解できます。また、ハードベイク時に端部で過度な加熱が起きると、スケーミングが発生し、検査が不可能になってしまいます。ウェーハの加熱は単なる補助的な工程ではありません。それは、パターン化される各...
ウェザーメーカー
夕方になって空気が冷たくなっても、夜が終わる必要はありません。ウェザーキャップヒーターを使えば、迅速かつ静かに、そしてクリーンに暖かさを提供してくれます。煙や煤、巨大な装置の心配もなく、屋外で過ごす時間を延長できます。私たちがこの製品を作ったのは、環境に優しい快適さを提供するという考えからです。...
Aixtron ヒーターエレメント予備部品
ファブフロアでは、AixtronのMOCVD装置は熱ドリフトを容赦しない。ヒーター素子の性能が低下し始めると即座にわかる。ウェハーの温度均一性が崩れ、ランツーランの再現性が不安定になり、エピタキシャルスタックの熱予算も正常に動作しなくなる。その結果、ロットのスクラップや計画外のダウンタイムが発生し...