http://patio-ir-comfort.com/ja/tags/%E3%82%B5%E3%83%9D%E3%83%BC%E3%83%88/ Recent content in サポート on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ加熱に関する技術サポート"></p> <p>リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変動だけでもCDのバイアスが規格を外れてしまうことをすぐに理解できます。また、ハードベイク時に端部で過度な加熱が起きると、スケーミングが<a href="https://o-yate.com">発生</a>し、検査が不可能になってしまいます。ウェーハの加熱は単なる補助的な工程ではありません。それは、パターン化される各層の熱的条件を決定する重要な要素です。均一性が崩れると、ダイを出荷することはできず、日々、その問題を解決するために時間を費やさなければなりません。</p> http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="感光材剥離用加熱器"></p> <p>リソグラフィ工程におけるストリッピングは受動的な中断ではなく、確実に機能する必要がある熱処理プロセスである。フォトレジストは完全に剥離し、残留物や再堆積がなく、かつウェハースタックにストレスを与えないことが求められる。サポートヒーターが目標温度に達しない場合、ラインは直ちにその影響を受ける。欠陥が発生し、パーティクル数が増加し、歩留まり表はあらゆる温度変動を示す。</p>