http://patio-ir-comfort.com/ja/tags/%E5%89%A5%E3%81%8E%E5%8F%96%E3%82%8A/ Recent content in 剥ぎ取り on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ja Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="感光材剥離用加熱器"></p> <p>リソグラフィ工程におけるストリッピングは受動的な中断ではなく、確実に機能する必要がある熱処理プロセスである。フォトレジストは完全に剥離し、残留物や再堆積がなく、かつウェハースタックにストレスを与えないことが求められる。サポートヒーターが目標温度に達しない場合、ラインは直ちにその影響を受ける。欠陥が発生し、パーティクル数が増加し、歩留まり表はあらゆる温度変動を示す。</p>