真空チャンバー用赤外線ヒーター
爆発を防ぐために:化学薬品が存在する真空環境での赤外線加熱
正直に言って、可燃性の化学溶剤が充満した真空チャンバー内に赤外線ヒーターを設置するのは、非常に危険な行為です。一方には高温があり、もう一方には爆発性の蒸気があるのです。ちょっとした火花やライトの故障でも、単なる修理では済まず、大惨事につな...
真空対応の赤外線ヒーター
なぜ真空中で金メッキされた反射体が重要なのか
もし真空中でシリコンウェーハを加熱しているのであれば、通常の法則は適用されないことに気づいているはずです。対流に頼ることはできません。完全に放射に頼るしかありません。
問題は、標準的な研磨済みアルミニウムやステンレス鋼を使用すると、エネルギーが無駄にな...