ファブレーター用石英ガラスシールド

Tue, 21 Jul 2026 02:08:06 +0800

熱の無駄遣いを止めよう：なぜクォーツ製のシールドがファブ内のラムプにとって重要か
半導体ファブを運営しているとき、最も避けたいのは、加熱用のランプがウェーハを汚してしまうことです。それは大変な問題です。そのため、私たちは高純度のクォーツガラス製のシールドを使用します。
これらは、ランプの「ボディーガード」と考えてください。加熱要素と処理環境の間に位置し、すべてを清潔に保ち、分離してくれます。

石英ハロゲン赤外線発信器

Mon, 29 Jun 2026 02:40:14 +0800

ファブの現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェハの重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。そうなると、多くのウェハが廃棄されてしまいます。ウェハ全体の温度均一性や、再現性の高いフォトレジストの特性は理論上の話ではありません。これらこそが、歩留まりを守るために毎シフトで確実に実行すべき要素です。クォーツハロゲン赤外線発光体は、重要な場所で安定した熱を供給します。例えば、ソフトベークやハードベーク、露光前の処理などです。こうした場所では、温度管理が非常に重要であり、わずかな変動でもプロセスに悪影響を与えます。

技術的に重要な点 クォーツハロゲンランプは、迅速で正確なスペクトル制御を持つ短波長の赤外線を放出するため、温度を素早く調整しつつも過剰な加熱を防ぐことができます。私たちは、300mmウェハ全体で±0.1℃以内の均一性を実現するように設計しています。そうすることで、フォトレジスト全体に均一なエネルギーが加わります。また、クリーンルームとの互換性も考慮されており、クラス1～100の環境下でも粒子の発生がないように設計されています。5,000時間以上の使用でも出力の低下は5％未満であり、24時間365日の運用が可能で、メンテナンスも容易です。

石英 on Patio Infrared Heating Comfort

ファブレーター用石英ガラスシールド

石英ハロゲン赤外線発信器