http://patio-ir-comfort.com/ja/tags/%E7%B4%AB%E5%A4%96%E7%B7%9A/ Recent content in 紫外線 on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="深紫外線 DUV レジストベークランプ"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>リソグラフィフロアでは、レジストベイク温度の0.2℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それは歩留まりが出口から失われることを意味します。ソフトベイクは溶剤のプロファイルを設定し、ハードベイクはイメージを固定します。どちらもウェハごとに繰り返し同じ熱供給が必要です。ベイクプロファイルが不安定になると、CD制御が乱れ、スカムが残留し、現像後にリンス残渣が発生します。</p>