http://patio-ir-comfort.com/ja/tags/%E9%99%A4%E5%8E%BB/ Recent content in 除去 on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 01:58:25 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 01:58:25 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウエハー除湿ヒーターランプ"></p> <p>300mm工程においては、洗浄後に残った水分が問題となります。これは、手遅れになって初めてその影響が現れるのです。この水分はフォトレジスト層に入り込み、熱バランスを乱し、露光後には不良品を引き起こします。ウェーハ上の水分を除去するためのヒーターランプは、このような問題を根本的に解決するために設計されています。</p>