http://patio-ir-comfort.com/ja/tags/facility/ Recent content in Facility on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 03:05:04 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/semiconductor-facility-maintenance-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:05:04 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/semiconductor-facility-maintenance-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="半導体製造施設用ヒーター"></p> <p><a href="https://henruite.com">製造現場</a>において、温度の安定性は「あれば便利」というレベルではありません。それは生産ラインで必須とされる条件です。フォトレジスト処理中にわずか数十分の一度程度の温度変動があっても、CD制御が乱れ、多大な損失を招く可能性があります。</p> <p>古式のヒーターでは、均一な加熱が難しく、粒子の発生や、最も困るタイミングでの停止が起こりがちです。私たちは、先進的なウェーハ製造のニーズに応えるため、半導体装置用のメンテナンス用ヒーターを開発しました。</p>