http://patio-ir-comfort.com/ja/tags/sic/ Recent content in (SiC) on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 01:17:51 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/silicon-carbide-sic-furnace-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:17:51 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ja/posts/silicon-carbide-sic-furnace-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="炭化ケイ素 SiC ファーネスランプ"></p> <p>実際の工程においては、熱ドリフトというのは理論上の概念に過ぎず、<a href="https://henruite.com">実用性</a>はない。ウェハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、エンカプセル剤の硬化処理、そして洗浄後の乾燥など、すべてが厳格な温度管理のもとで行われる。もし設定された温度が保てなければ、寸法制御が乱れ、接着力が低下し、最終的には不良品が多くなってしまう。</p> <p><strong>重要なのは何か</strong> 私たちは、高速で均一な赤外線を供給し、精度の高い温度制御が可能なSiCランプを使用している。このランプは、迅速に温度を上昇させつつ、安定した状態を維持するように設計されているため、温度の均一性を数十分の1度単位で管理することができる。また、この装置はクリーンルーム仕様であり、ガス放出量が少ない材料や、粒子が混入しない構造を持っている。実際には、これによりウェハ全体で再現性のある加熱プロファイルが得られ、一貫した硬化処理が可能になり、空気中の汚染物質による問題も起こらない。</p>