http://patio-ir-comfort.com/ko/tags/%EC%88%98%EB%B6%84/ Recent content in 수분 on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 01:58:25 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 01:58:25 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 수분 제거 히터 램프"></p> <p>300mm 공정에서는 세척 후에도 잔여 수분이 남아 있으며, 이는 너무 늦어지기 전까지는 문제로 인식되지 않습니다. 이러한 수분은 포토레지스트 층으로 스며들어 열 균형을 깨뜨리고, 노광 후에는 웨이퍼 표면에 이상 현상을 유발합니다. 웨이퍼 내부의 수분을 제거하기 위해 특별히 설계된 히터가 사용됩니다.</p>