http://patio-ir-comfort.com/ko/tags/%EC%9E%90%EC%99%B8%EC%84%A0/ Recent content in 자외선 on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="딥 UV(DUV) 레지스트 베이크 램프"></p> <h1 id="리소그래피-작업장에서-레지스트-베이크-온도가-02c-변동하는-것은-작은-편차가-아니다-이는-수율-손실을-의미한다-소프트-베이크는-솔벤트-프로파일을-설정하고-하드-베이크는-이미지를-고정한다-두-공정-모두-웨이퍼마다-동일한-열-공급이-반드시-필요하다-베이크-프로파일이-흔들리면-cd-제어가-불안정해지고-스컴이-남으며-현상-후-린스-잔류물이-발생한다">리소그래피 작업장에서, 레지스트 베이크 온도가 0.2°C 변동하는 것은 “작은 편차”가 아니다. 이는 수율 손실을 의미한다. 소프트 베이크는 솔벤트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 이미지를 고정한다. 두 공정 모두 웨이퍼마다 동일한 열 공급이 반드시 필요하다. 베이크 프로파일이 흔들리면 CD 제어가 불안정해지고, 스컴이 남으며, 현상 후 린스 잔류물이 발생한다.</h1> <p>당사의 DUV 레지스트 베이크 램프는 근적외선 가열 방식을 활용하여 서브 밀리미터 수준의 균일한 안정적인 열장을 형성한다. 이를 통해 엄격한 열 예산 내에서 웨이퍼 단위 온도 제어가 가능하여, 모든 소프트 베이크와 하드 베이크가 이전 공정과 동일한 조건으로 진행된다. 적외선 에너지는 레지스트에 직접 결합되어 지연과 과열을 줄인다. 반복성은 단순한 슬로건이 아니라, 설정점마다 사이클마다 일관되게 나타난다.</p>