Stop de vervuiling van de wafers voordat deze begint: een betere manier om IR-lampen te gebruiken
In een productieomgeving met hoge volumes is het geval dat een lamp kapotgaat meer dan alleen een lastig probleem of wat stilstand. Het is een nachtmerrie.
Stel je voor dat een kwartsbuis precies boven de wafers kapotgaat. Dan heb je niet alleen te maken met een kapotte lamp, maar ook met glasscherven en chemische stoffen die een hele lading wafers beschadigen. Het is een puinhoop. Daarom hebben we ozonvrije IR-lampen ontwikkeld, zodat dit risico van tevoren kan worden voorkomen.
Het probleem met ozon
Bij standaard kortegolf-IR-lampen wordt straling uitgestraald in het gebied van 185 nm. Dat klinkt technisch, maar het betekent eigenlijk dat ze de lucht om zich heen omzetten in ozon.
In een schone ruimte is ozon een corrosief gas. Het tast de organische lagen op de wafers aan. Om dit te voorkomen, gebruiken we speciale additieven en kwartsbuizen die deze UV-stralen filteren. Je krijgt nog steeds genoeg warmte voor een snelle droging, maar zonder de nare chemische bijwerkingen.
Voorkomen dat dingen kapotgaan
Thermische schokken zijn de echte oorzaak van schade. Wanneer lampen snel aan en uit worden gezet, zal de kwartsbuis uitzetten en krimpen, totdat deze uiteindelijk kapotgaat.
We gebruiken hoogzuiver gefuseerd kwarts om het smeltpunt van de buis te verhogen, zodat de buis sterker wordt. Maar we zijn hier niet blijven staan. We hebben ook beschermende hulzen en speciale coatings toegevoegd die als veiligheidsnetwerk fungeren. Als het binnenste filament kapotgaat of de buis barst, vangt de buitenste huls de schade op. Zodat je siliciumwafers schoon blijven.
De nadelen (want niets is perfect)
Ik zal eerlijk tegen je zijn: er zijn wel wat nadelen. Die ozonvrije coatings blokkeren een beetje van het infrarode licht. Je kunt een daling van 5-10% in de hoeveelheid warmte merken. Dat is geen groot probleem, maar je moet misschien de vermogenssterkte van de lamp verhogen of de wafers langer laten staan om dit goed te maken.
Nog een tip: kijk eens naar je koelsysteem. Deze lampen concentreren de warmte vaak aan de uiteinden. Als de luchtcirculatie niet goed is ingesteld, gaan de elektroden veel sneller kapot.