Stop met het opwarmen van de machine en begin in plaats daarvan de wafer op te warmen.
Bij het bewerken van wafers met behulp van infraroodstraling hebben deze systemen een vervelend kenmerk: ze willen alles opwarmen, behalve precies datgene wat je juist wilt opwarmen.
Als je ooit hebt gemerkt dat de binnenwanden van je apparaat gevaarlijk heet werden, weet je hoe lastig dat is. Het is niet alleen verspilling van energie, maar ook een risico voor degene die het apparaat bedient.
Wij lossen dit op door gebruik te maken van gerichte infraroodverwarming.
Dit is het probleem met standaardlampen: ze stralen warmte in alle richtingen uit – dus over een gebied van 360 graden. In een kleine ruimte wordt de helft van deze energie gewoon weerkaatst tegen de muren. Hierdoor wordt je dure apparaat eigenlijk een enorme, ondoelmatige oven.
Wij lossen dit op met gespecialiseerde reflectoren en precisiesensoren die de warmte gericht kunnen sturen. In plaats van een brede warmtestraal, krijg je een geconcentreerde straal. De energie gaat rechtstreeks naar het oppervlak van de wafer, zodat de rest van het apparaat niet wordt beïnvloed.
Het beste deel? Je apparatuur blijft koel.
Je kunt zelfs de buitenkant van het apparaat aanraken tijdens een proces bij hoge temperaturen, zonder dat je bang hoeft te zijn dat je je hand brandt. Omdat we de warmtestraling precies daar richten waar het nodig is, bereik je de gewenste temperaturen sneller. Je apparatuur hoeft dan ook niet te oververhitten.
Maar let op: dit is geen magische oplossing. Er zijn ook nadelen.
Als je de warmtestraal concentreert, neemt de hitteintensiteit in het midden toe. Als je infraroodsensoren en PID-regelaars niet perfect zijn ingesteld, kan dit leiden tot oververhitting of zelfs beschadigde wafers.
En precisie is belangrijk. Als je zelfs maar een paar millimeter afwijkt, verdwijnt de uniformiteit van de temperatuur. Ik zeg altijd tegen mensen: kalibreer eerst de positie van de lampen voordat je überhaupt begint met het proces.
Uiteindelijk maakt gerichte infraroodverwarming het mogelijk om hogere temperaturen te bereiken, zonder dat er een groot en zwaar koelsysteem nodig is. Het is gewoon gezonde verstand: zet de energie waar ze thuishoort.