Technische ondersteuning voor het verwarmen van wafers
Op de afdeling voor lithografie leer je snel dat zelfs een verschil van een halve graad in de temperatuur al voldoende is om de kwaliteit van de CD’s...
Ondersteuningsverwarmer voor het verwijderen van fotoresist
Op de lithografievloer is stripping geen passieve tussenstop maar een thermisch proces dat zijn werk schoon moet doen. De fotoresist moet volledig...