http://patio-ir-comfort.com/ru/tags/%D1%81%D0%BD%D1%8F%D1%82%D0%B8%D0%B5-%D0%BE%D0%B4%D0%B5%D0%B6%D0%B4%D1%8B/ Recent content in Снятие Одежды on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ru Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ru/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ru/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Нагреватель для поддержки удаления фоторезиста"></p> <p>На литографическом этаже снятие фоторезиста — это не пассивная остановка, а термический процесс, который должен выполняться чисто. Необходимо, чтобы фоторезист полностью отделялся без остатков, без повторного осаждения и без напряжений в стеке пластин. Если нагреватель подложки не работает точно, линия сразу это почувствует. Появляются дефекты. Количество частиц растёт. И на листе выхода отражается каждый градус отклонения.</p> <p>Мы разработали нагреватель поддержки для снятия фоторезиста с повторяемым контролем температуры и материалами, пригодными для чистых помещений. В производстве полупроводников тепловое поведение равно процессу — нельзя их разделять.</p>