http://patio-ir-comfort.com/ru/tags/%D1%83%D1%84/ Recent content in УФ on Patio Infrared Heating Comfort Hugo ru Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для запекания позитивного фоторезиста глубокого УФ (DUV)"></p> <p>На литографическом этаже дрейф температуры запекания резиста на 0,2°C — это не «небольшое отклонение». Это потеря выхода годных изделий. Мягкое запекание задаёт профиль растворителя. Жёсткое запекание фиксирует изображение. Для обоих этапов необходима повторяемая подача тепла, с одной пластины на другую. При колебаниях профиля запекания управление критическими размерами (CD) ухудшается, остаётся налёт, а после проявления появляются остатки от промывки.</p> <p>Лампа запекания DUV резиста использует ближнее инфракрасное излучение для создания стабильного теплового поля с субмиллиметровой однородностью. Это обеспечивает контроль температуры на уровне пластины в рамках жёстких тепловых допусков, так что каждое мягкое и жёсткое запекание выполняется точно так же, как и в предыдущем цикле. Инфракрасная энергия напрямую взаимодействует с резистом, что сокращает задержки и превышения температуры. Повторяемость не является просто лозунгом — она проявляется в каждом установленном значении, в каждом цикле.</p>