Fab alanında, Aixtron MOCVD ekipmanı termal kaymayı affetmez. Isıtıcı eleman performans düşüklüğüne başladığında, sonucu hemen anlarsınız—wafer sıcaklık uniformitesi bozulur, çalışmadan çalışmaya tekrar edilebilirlik değişir ve epitaksi katmanı için termal bütçe beklenmeyen şekilde davranmaya başlar. Bunun sonucu olarak, imha edilen partiler ve planlanmamış duruşlar ortaya çıkar; bu da kaybedilmesi mümkün olmayan üretim kapasitesini azaltır.
Teknik açıdan gerçekten önemli olan
Aixtron ısıtıcı eleman yedek parçasını, reaktör odasının beklediği termal davranış ile uyumlu olacak şekilde tasarlıyoruz: stabil, hızlı tepki veren ve wafer düzleminde sıkı sıcaklık kontrolü sağlayan. Yüksek saflıkta, düşük gaz salınımı yapan bir tasarıma sahiptir ve termal döngü sırasında partikül oluşumunu kontrol altında tutarak temiz oda uyumluluğunu korur. Teknik özellikler, cihazın güç ve voltaj sınırları içinde kalır; geometrisi ve terminal arayüzü ise orijinal ekipmanla uyumludur, böylece yedek parça herhangi bir yeniden işleme veya kontrol ayarı gerektirmeden yerine takılır.
Üretimde neden bu geçerlidir
Bu yedek parçayla, sürecinizde onaylanmış termal profili korursunuz. Parti bazında sıcaklık tekrar edilebilirliği tutarlı kalır; böylece epitaksiyel kalınlık kontrolü ve bileşim tutarlılığı sağlanır. Güvenilirlik, uzun süreli ön çalışma ve tekrarlayan termal döngülerle desteklenir; bu sayede sürekli 24/7 çalışma imkanı sağlanır ve planlanmamış duruşlar azalır. Pratikte bu; kararlı verim, planlanabilir bakım aralıkları ve ısı tutma gecikmelerinden kaynaklanan enerji kaybının azaltılması anlamına gelir.
Montaj sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Montaj işlemi basittir ancak yine de disiplinli yaklaşılması gerekir—elektrostatik deşarj (ESD) ve kontaminasyon kontrolü her adımda sağlanmalıdır. Oda temizliğini doğrulayın ve ısıtıcı set noktasına getirilmeden önce termokuplun oturuşu ve hizalamasını tekrar kontrol edin. Temasta oluşacak en küçük sapma bile ölçüm sapmasına yol açabilir. İlk çalıştırmayı, termal imzanın temel referans ile uyumlu olduğunu doğrulamak için daha sıkı yerinde (in-situ) izleme ile planlayın.