
Akıllı bir fabrikada termal kontrolü doğru şekilde sağlamak
Eğer Endüstri 4.0 tarzında bir fabrika kuruyorsanız, eski ısıtma yöntemlerinin artık yeterli olmadığını muhtemelen fark etmişsinizdir. Artık “bir kere ayarlayıp unutmak” yerine gerçek verilere dayalı bir sistem kullanıyoruz. Waferleri ısıtmak için ise yüksek verimliliğe sahip kızılötesi sistemler kullanılır. Bu sistemler, dijitalleştirilmiş bir üretim hattı istiyorsanız ihtiyaç duyduğunuz hassasiyeti ve gerçek zamanlı izlemeyi sağlar.
Güvenlik açısından “ideal nokta” ne?
İşin püf noktası şu: Bir kızılötesi cihazı doğrudan waferın yanına koymak yeterli değildir. Eğer lamba çok yakındaysa, waferin merkezinde aşırı ısı oluşur; bu da waferin zarar görmesine neden olur. Bunu önlemek için kaynağı biraz geriye yerleştirmek gerekir. Böylece ısı daha eşit bir şekilde dağılır. Ancak burada bir dezavantaj var: Aradaki mesafe ne kadar büyük olursa, ışının yoğunluğu o kadar düşer. Bu da hedef sıcaklığa ulaşmak için daha yüksek güç kullanılmasını veya daha uzun süre çalışılmasını gerektirir. Her şey bir denge meselesidir.
Isıyı veriye dönüştürmek
Asıl sihir, geri bildirim döngüsünü kapatarak gerçekleşir. Kızılötesi sistemleri pirometreler ve PLC kontrol cihazlarına bağlarız. Böylece sadece tahminlerde bulunmak yerine gerçek zamanlı veriler elde edilir. Her bir waferin ısıl durumu görülebilir. Bu sayede tüm süreç tekrarlanabilir hale gelir; bu da üretimde istikrarın sağlanmasının tek yoludur. Ayrıca bu sistem sayesinde “öngörülebilirlik” de sağlanır. Sistem, waferin gerçek kütlesini ve oda sıcaklığını ölçerek gücü buna göre ayarlar.
Tercihler ve çözümler
Yüksek yoğunluklu kızılötesi ışınlar avantajlıdır çünkü hızla ısı üretirler. Ancak bu enerjinin bir yere gitmesi gerekir. Dikkatli olmazsanız, çevredeki bileşenler zarar görebilir. Yansıyan enerjiyi kontrol altında tutmak için soğutma fanları ve ısı emicileri kullanılmalıdır. Eğer soğutma işlemine önem vermezseniz, kontrol cihazlarındaki elektronik parçalar bozulabilir. Ben her zaman özel bir ısı bariyeri kullanılmasını öneririm. Bu sayede kızılötesi radyasyon hassas sensörlerden uzak tutulur ve her şey serin kalır.