Wafer ısıtma konusunda teknik destek
Litografide çalışırken, sadece yarım derece kadar bir sıcaklık değişikliğinin bile CD’nin kalitesini bozabileceğini hızla öğrenirsiniz. Eğer sert...
Fotoresist temizleme destek ısıtıcısı
Litografi katında, stripping pasif bir duraklama değildir—bu işi temiz şekilde yapması gereken termal bir işlemdir. Fotoresistin tamamen kaldırılması...