http://patio-ir-comfort.com/tr/tags/direnmek/ Recent content in Direnmek on Patio Infrared Heating Comfort Hugo tr Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/tr/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/tr/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Derin UV (DUV) rezist pişirme lambası"></p> <h1 id="lithografi-katında-rezist-pişirme-sıcaklığındaki-02clik-bir-sapma-küçük-bir-sapma-değildir-bu-verimin-kapıdan-dışarı-çıkması-demektir-soft-bake-solvent-profilini-belirler-hard-bake-görüntüyü-kilitler-ikisi-de-her-bir-wafer-için-tekrarlanan-ısıtma-sağlanmasını-gerektirir-pişirme-profili-dalgalandığında-cd-kontrolü-bozulur-kalıntılar-kalır-ve-geliştirme-sonrası-durulama-artıklarına-rastlanır">Lithografi katında, rezist pişirme sıcaklığındaki 0.2°C’lik bir sapma “küçük bir sapma” değildir. Bu, verimin kapıdan dışarı çıkması demektir. Soft bake solvent profilini belirler. Hard bake görüntüyü kilitler. İkisi de, her bir wafer için tekrarlanan ısıtma sağlanmasını gerektirir. Pişirme profili <a href="https://o-yate.com">dalgaland</a>ığında, CD kontrolü bozulur, kalıntılar kalır ve geliştirme sonrası durulama artıklarına rastlanır.</h1> <p>DUV rezist pişirme lambamız, kararlı bir termal alan oluşturmak için yakın kızılötesi ısıtmayı kullanır ve alt milimetre düzeyinde uniformite sağlar. Bu sayede, sıkı ısıl bütçeler içinde kalan wafer seviyesinde sıcaklık kontrolü elde edilir; böylece her soft bake ve hard bake, bir öncekiyle aynı sonuç verir. Kızılötesi enerji doğrudan reziste iletilir; bu da gecikme ve aşırı ısınmayı azaltır. Tekrarlanabilirlik bir slogan değil—setpoint setpoint, döngü döngü olarak kendini gösterir.</p>