Eleman on Patio Infrared Heating Comfort

Wafer oksidasyon ısıtma elemanı

Mon, 06 Jul 2026 03:43:58 +0800

Giriş
Endüstriyel kızılötesi ısıtıcı elemanları hakkında gerçekçi olalım; yani wafelerin oksidasyon işlemleri için kullanılan türlerden bahsediyoruz.
Buradaki önemli soru şu: Ev tipi kızılötesi lambalar, ithal edilen lambaların yerine rahatça konulabilir mi? Bunun için makinenin tamamen yeniden düzenlenmesine gerek var mı, yoksa süreç tehlikeye mi girer?
Kısa cevap: Eğer mühendislik çalışmaları doğru şekilde yapılırsa evet. Ve gerçekten de öyle.

Güç ve Fiziksel Özellikler
Bu ısıtıcı eleman, 400V, 2500W gücünde çalışır. Bu kadar yüksek güç, sıcaklığın hızla artmasını ve oksidasyon odasının düzgün çalışmasını sağlar.
300mm uzunluğunda bir tüp olarak tasarlanmıştır; bu uzunluk tesadüfi değildir. Standart fırınların iç yapısına uygun olduğundan, ısı wafelerin üzerine eşit şekilde dağılır; soğuk nokta veya gölge oluşmaz.

Litografi yumuşak pişirme ısıtma elemanı

Wed, 01 Jul 2026 06:41:41 +0800

Litografi sürecinde, düşük sıcaklıkta pişirme işlemi bir tercih değil, zorunlu bir kuraldır. Her bir wafer üzerinde, kenardan köşeye kadar tutarlı bir şekilde çözücünün uzaklaştırılması gerekiyor. Birkaç derecelik bir sapma bile, CD kontrolünün bozulmasına neden olur. Isıtma elemanını bu sınır içinde kalacak şekilde tasarladık; böylece günler boyunca orada kalabilir.

Teknik açıdan önemli olanlar:
Bu eleman, kısa dalga boyunda infraruj ışık kullanan ve kuvars-halojen yapısında olan bir cihazdır. Bu sayede hızlı termal tepki verir ve pişirme işleminde kesin kontrol sağlanır. Hedeflenen sıcaklık, wafer yüzeyinde ±0,1°C’lik bir düzeyde sabit kalır; böylece her seferinde aynı sonuç elde edilir. Temiz oda koşullarına uygun malzemeler kullanılır; işletim sırasında hiçbir parça oluşmaz ve yüzey pürüzlülüğü de en aza indirilir.