http://patio-ir-comfort.com/tr/tags/litografi/ Recent content in Litografi on Patio Infrared Heating Comfort Hugo tr Wed, 01 Jul 2026 06:41:41 +0800 http://patio-ir-comfort.com/tr/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Wed, 01 Jul 2026 06:41:41 +0800 http://patio-ir-comfort.com/tr/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Litografi yumuşak pişirme ısıtma elemanı"></p> <p>Litografi sürecinde, düşük sıcaklıkta pişirme işlemi bir tercih değil, zorunlu bir kuraldır. Her bir wafer üzerinde, kenardan köşeye kadar tutarlı bir şekilde çözücünün uzaklaştırılması gerekiyor. Birkaç derecelik bir sapma bile, CD kontrolünün bozulmasına neden olur. Isıtma elemanını bu sınır içinde <a href="https://o-yate.com">kalacak</a> şekilde tasarladık; böylece günler boyunca orada kalabilir.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong><br> Bu eleman, kısa dalga boyunda infraruj ışık kullanan ve kuvars-halojen yapısında olan bir cihazdır. Bu sayede hızlı termal tepki verir ve pişirme işleminde kesin kontrol sağlanır. Hedeflenen sıcaklık, wafer yüzeyinde ±0,1°C’lik bir düzeyde sabit kalır; böylece her seferinde aynı sonuç elde edilir. Temiz oda koşullarına uygun malzemeler kullanılır; işletim sırasında hiçbir parça oluşmaz ve yüzey pürüzlülüğü de en aza indirilir.</p>