Litografi sürecinde, düşük sıcaklıkta pişirme işlemi bir tercih değil, zorunlu bir kuraldır. Her bir wafer üzerinde, kenardan köşeye kadar tutarlı...

Lithografi katında, rezist pişirme sıcaklığındaki 0.2°C’lik bir sapma “küçük bir sapma” değildir. Bu, verimin kapıdan dışarı çıkması demektir. Soft...