İki tüplü altın kaplı lamba

Sat, 25 Jul 2026 02:13:34 +0800

Waferlerin Kirlenmesini Önleme: Altın Kaplamalı Çift Tüplü Lambaları Neden Kullandık?
Yüksek kapasiteli bir yarı iletken üretim teslisinde, lambanın bozulması büyük bir felaket anlamına gelir. Bu sadece üretimin durmasından ibaret değildir; kuvars tüpü patladığında parçalar ve kimyasal maddeler doğrudan waferlerin üzerine saçılır. Bir kez böyle bir olay meydana geldiğinde, ciddi bir kirlenme sorunu ortaya çıkar.

İşte bu yüzden altın kaplamalı çift tüplü lambaları geliştirdik. Bu riskleri tamamen ortadan kaldırmak istedik.

Sır, çift tüplü yapıda yatıyor.
Tek bir tüpün tüm ısıyı üstlenmesi yerine, iki kuvars katmanı kullanıldı. Böylece ısı yükü daha eşit şekilde dağıtılır. İletkenin iş yükü iki katmana böylece dağıldığı için, dış duvar aşırı ısınmaz. Bu sayede kuvars, en yüksek güç seviyelerinde bile zarar görmeyen bir yapıda kalır. Waferler üzerinde düzgün ve eşit bir ısı dağılımı sağlanır. Ne sıcak noktalar oluşur ne de ani patlamalar meydana gelir. Sadece sabit bir ısı akışı vardır.

Temiz kuvars kızılötesi tüp 2700W

Tue, 09 Jun 2026 00:59:21 +0800

Lithografi katında, fotoresist pişirme penceresi bir rehber değil—süreçtir. Yumuşak pişirme veya sert pişirme sırasında 2°C’lik bir değişim kritik boyut kontrolünü bozar ve hat durur. İhtiyacınız olan ısı, hızlı ulaşan, sabit kalan ve temiz kalan ısıdır.
Motor kaputunun altında önemli olan şey basittir. 2700W’lık şeffaf kuvars kızılötesi tüp, hızlı, radyant ısıtma ve sıkı termal yanıt etrafında tasarlanmıştır. Kuvars, yakın kızılötesi bantta verimli bir şekilde enerji iletir, böylece enerji hedefe—wafer, taşıyıcı veya proses fikstürü—doğrudan aktarılır, çok fazla havayı ısıtmak için zaman kaybedilmez. 2700W gücü, kısa termal rampa için gereken güç yoğunluğunu sağlar ve çevrim süresini yüksek hacimli wafer programlarıyla uyumlu tutar. Pratikte bu, minimum aşım ile tekrarlanabilir pişirme profilleri ve fotoresist kürleme ile çözücü giderimi için gereken sıcaklık kararlılığı anlamına gelir.
Bir yarı iletken fabrikasında tercih edilme sebepleri şunlardır: termal uniformite ve partikül kontrolü üretim verimliliğinin iki yönüdür. Bu tüp, Class 1–100 uyumlu, outgassing’i engelleyen ve pul pul dökülmeyi önleyen yapısıyla temiz oda disiplinine uygundur. Binlerce saat boyunca stabil çıkış sunar, bu sayede parti genelinde termal parametreler sapmaz. Sonuç olarak, tutarlı fotoresist işleme, daha az revizyon ve öngörülebilir çalışma süresi elde edilir. Ayrıca uluslararası ekipman spesifikasyonlarına denk alternatif olarak sisteme entegre edilir; mevcut termal modüllerle uyumludur, proses odasının yeniden düzenlenmesini gerektirmez.
Montaj basittir, ancak hizalama zorunludur. Tüpü belirtilen aralık ve yönlendirme ile monte edin, aksi halde wafer düzleminde sıcak ve soğuk bölgeler oluşacaktır. Fikstür malzemesini ve reflektör geometrisini pişirme sıcaklığı aralığınıza göre kontrol edin—kuvars dayanıklıdır ancak montaj uçlarındaki termal stres, arayüz doğru tasarlanmamışsa arıza sebebi olabilir. Düzenli kontroller ve kontrollü değiştirme aralıkları planlayarak partikül sayısını düşük tutun ve tekrarlanabilirliği sağlayın.

Tüp on Patio Infrared Heating Comfort

İki tüplü altın kaplı lamba

Temiz kuvars kızılötesi tüp 2700W