http://patio-ir-comfort.com/uk/tags/%D0%B3%D0%BB%D0%B8%D0%B1%D0%BE%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Глибокий on Patio Infrared Heating Comfort Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для запікання DUV (глибокий ультрафіолетовий) резисту"></p> <p>На лінії літографії відхилення температури випікання резисту на 0,2°C — це не «невелике відхилення». Це втрати виходу продукції. Soft bake визначає профіль розчинника. Hard bake фіксує зображення. Обидва етапи потребують повторюваної подачі тепла, шар за шаром. Якщо профіль випікання нестабільний, контроль CD погіршується, на поверхні залишки забруднень, а після проявлення з’являються залишки відмивання.</p> <p>Наші лампи для випікання DUV резистів використовують ближнє інфрачервоне нагрівання для створення стабільного теплового поля з однорідністю субміліметрового рівня. Ви отримуєте контроль температури на рівні пластини, що тримається в жорстких теплових межах, тому кожен soft bake і hard bake проходить однаково, як і попередній цикл. Інфрачервона енергія безпосередньо передається в резист, що зменшує запізнювання та перевищення температури. Повторюваність — це не гасло, а факт, що проявляється у встановлених точках за точками, циклах за циклами.</p>