http://patio-ir-comfort.com/uk/tags/%D0%BF%D1%96%D0%B4%D1%82%D1%80%D0%B8%D0%BC%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Підтримка on Patio Infrared Heating Comfort Hugo uk Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Технічна підтримка щодо нагріву пластин"></p> <p>На поверхні літографічного обладнання швидко розумієш, що навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до того, що параметри CD вийдуть за межі допусків. А якщо процес нагрівання відбувається нерівномірно по краях пластини, то це призведе до появи небажаних включень, що ускладнить процедуру перевірки якості. Нагрівання пластини – це не просто додатковий етап процесу. Воно визначає температурний режим для кожного шару, який формується на пластині. Якщо однорідність температури порушується, продукцію не можна відправляти на склад – доводиться постійно боротися з цими проблемами.</p> http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Підігрівач для зняття фоторезисту"></p> <p>На ділянці літографії зняття фоторезисту — це не пасивна зупинка, а тепловий процес, який має виконуватися чисто. Потрібно, щоб фоторезист повністю відшаровувався, без залишків, без повторного осадження та без напружень у стеку пластин. Якщо нагрівач підтримки не досягає заданих параметрів, лінія це відчуває одразу. З’являються дефекти. Кількість частинок зростає. А звіт про вихід продукції показує кожен градус відхилення.<br> Ми розробили нагрівач підтримки для зняття фоторезисту із можливістю повторюваного контролю температури та матеріалами, придатними для чистих приміщень. У виробництві напівпровідників теплові характеристики — це характеристика процесу, вони нероздільні.</p>