http://patio-ir-comfort.com/uk/tags/bake/ Recent content in Bake on Patio Infrared Heating Comfort Hugo uk Wed, 01 Jul 2026 06:41:46 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Wed, 01 Jul 2026 06:41:46 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Елемент нагріву для м якого випалювання у літографії"></p> <p>У процесі літографії температура нагрівання не є просто параметром, який можна налаштувати за бажанням – це жорсткий обмежуючий фактор. Необхідно забезпечити однакове видалення розчинника по всій поверхні кристала. Навіть кілька градусів відхилення чи місця з надмірним нагріванням можуть призвести до порушення контролю за якістю продукту. Ми розробили елемент нагріву, який може функціонувати в межах цих обмежень, день за днем.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору:</strong> Елемент нагріву працює в діапазоні короткохвильового інфрачервоного випромінювання; використовується кварц-галогеновий принцип роботи. Це забезпечує швидку реакцію на зміни температури та точний контроль під час процесу нагрівання. Температура на всій поверхні кристала залишається стабільною в межах ±0,1°C, що забезпечує однакову якість продукту при кожному процесі нагрівання. Компат<a href="https://goldisgood.com">ibilit</a>ет із умовами чистої кімнати також забезпечений: використовуються матеріали класу 1–100, під час роботи не утворюється жодних частинок, а поверхня має таку структуру, що запобігає появі дефектів.</p> http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/uk/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для запікання DUV (глибокий ультрафіолетовий) резисту"></p> <p>На лінії літографії відхилення температури випікання резисту на 0,2°C — це не «невелике відхилення». Це втрати виходу продукції. Soft bake визначає профіль розчинника. Hard bake фіксує зображення. Обидва етапи потребують повторюваної подачі тепла, шар за шаром. Якщо профіль випікання нестабільний, контроль CD погіршується, на поверхні залишки забруднень, а після проявлення з’являються залишки відмивання.</p> <p>Наші лампи для випікання DUV резистів використовують ближнє інфрачервоне нагрівання для створення стабільного теплового поля з однорідністю субміліметрового рівня. Ви отримуєте контроль температури на рівні пластини, що тримається в жорстких теплових межах, тому кожен soft bake і hard bake проходить однаково, як і попередній цикл. Інфрачервона енергія безпосередньо передається в резист, що зменшує запізнювання та перевищення температури. Повторюваність — це не гасло, а факт, що проявляється у встановлених точках за точками, циклах за циклами.</p>