http://patio-ir-comfort.com/vi/tags/ch%E1%BB%91ng-l%E1%BA%A1i-kh%C3%A1ng-c%E1%BB%B1/ Recent content in Chống Lại; Kháng Cự on Patio Infrared Heating Comfort Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/vi/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/vi/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Đèn nướng lớp nhạy sâu UV (DUV)"></p> <p>Trên sàn <a href="https://o-yate.net">lithography</a>, sự trôi nhiệt độ 0,2°C trong quá trình nướng resist không phải là “độ lệch nhỏ.” Đó là tổn thất sản lượng ngay trước cửa ra. Soft bake xác định hồ sơ dung môi. Hard bake cố định hình ảnh. Cả hai đều cần cung cấp nhiệt ổn định, lặp lại đều đặn qua từng wafer. Khi hồ sơ nướng dao động, kiểm soát CD bị ảnh hưởng, cặn bẩn còn sót lại, và dư lượng rửa xuất hiện sau khi phát triển.</p>