光刻胶剥离辅助加热器

在光刻车间，剥离并非被动的中途停留——它是一种必须干净完成的热工艺。要求光刻胶完全剥离，无残留，无再沉积，同时不对晶圆堆叠造成应力。当支撑加热器未达到标准时，生产线会立即感受到影响。缺陷开始出现，粒子计数上升，良率报告显示出每一度的偏差。 我们设计的光刻胶剥离支撑加热器，专注于以可重复的温度控制和...