无臭氧红外灯

在问题发生之前就阻止晶圆被污染：处理红外灯的更好方法 在大型半导体生产环境中，如果红外灯发生故障，那可不只是个小麻烦或短暂的停机时间而已——那简直就是一场噩梦。 想象一下，如果石英管在你的晶圆上方发生破裂，那么你面临的就不只是个坏掉的灯泡而已，而是玻璃碎片和化学物质对整批晶圆的破坏。那真是一团糟。...