http://patio-ir-comfort.com/zh/tags/%E5%B9%B2%E7%87%A5/ Recent content in 干燥 on Patio Infrared Heating Comfort Hugo zh Thu, 23 Jul 2026 09:30:40 +0800 http://patio-ir-comfort.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:30:40 +0800 http://patio-ir-comfort.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h2 id="在干燥mems晶圆时保持其洁净无瑕">在干燥MEMS<a href="https://goldisgood.com">晶圆时保持</a>其洁净无瑕</h2> <p>在干燥MEMS传感器晶圆时，热量只是解决问题的一个方面。真正需要克服的难题是各种颗粒物。<a href="https://henruite.com">如果在</a>100级洁净室中工作，您应该很清楚：哪怕有一小片损坏的纤维或少量气体析出物，整个批次的产品都可能会被毁掉。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯效果非常好。</p> <h2 id="为何要使用石英材料">为何要使用石英材料？</h2> <p>普通的石英含有杂质。当温度升高时，这些杂质会分解，从而产生微小颗粒，这些颗粒会进入气流中。这显然不是好事。 我们则选用高纯度的熔融硅材料。这种材料在温度急剧变化时不会结晶或脱落，因此能够保持稳定状态。 它的作用原理很简单：红外辐射会立即蒸发晶圆表面的液体膜。由于我们使用的是短波光谱，能量可以直接作用于水分子上，无需让整个腔室都处于高温状态就能使晶圆干燥。</p>