http://patio-ir-comfort.com/zh/tags/%E6%B9%BF%E6%B0%94/ Recent content in 湿气 on Patio Infrared Heating Comfort Hugo zh Sat, 20 Jun 2026 01:58:26 +0800 http://patio-ir-comfort.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 01:58:26 +0800 http://patio-ir-comfort.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="晶圆除湿加热灯"></p> <p>在300毫米光刻线上，清洗后残留在芯片上的水分会悄悄影响加工质量，而这种影响往往要等到为时已晚时才会显现出来。这些水分会渗透到光刻胶层中，扰乱工艺参数，从而在曝光后导致不良缺陷的产生。因此，需要使用专门的加热器来消除这些水分，从源头上避免问题。</p>