ড্রাইং প্রক্রিয়ায় MEMS ওয়েফারগুলোকে নির্মল রাখা
MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলো শুকানোর সময় তাপই একমাত্র চ্যালেঞ্জ নয়। আসল চ্যালেঞ্জ হলো কণাগুলোর বিরুদ্ধে লড়াই করা। যদি আপনি ক্লাস 100 ক্লিনরুমে কাজ করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে একটি ছোট্ট কণা বা অন্য কোনো অপ্রয়োজনীয় উপাদানই আপনার সমস্ত ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে।
এই কারণেই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি। এগুলোই সবচেয়ে কার্যকর।
কেন কোয়ার্টজ গুরুত্বপূর্ণ?
সাধারণ কোয়ার্টজে অশুদ্ধি থাকে। তাপ বাড়লে এই অশুদ্ধিগুলো ভেঙে যায় এবং অতিক্ষুদ্র কণাগুলো বায়ুপ্রবাহে ছড়িয়ে যায়। এটা ভালো নয়।
আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি। এটা তাপের কারণে ক্রিস্টালাইজ হয় না; ফলে এটা ঠিক জায়গায়ই থেকে যায়।
ইনফ্রারেড বিকিরণ ওয়েফারের উপরি তরল আবরণকে সঙ্গে সঙ্গে বাষ্পীভূত করে দেয়। যেহেতু আমরা শর্ট-ওয়েভ স্পেকট্রাম ব্যবহার করি, তাই শক্তি সরাসরি জলের দিকে যায়। ওয়েফারগুলো শুকানোর জন্য পুরো চেম্বারটিকে গরম করার দরকার নেই।
অপ্রয়োজনীয় উপাদানগুলো দূর করা
আমরা ল্যাম্পের গঠন ভালোভাবে পর্যালোচনা করে সেখান থেকে সাধারণ আন্তঃচ্ছেদক ও সস্তা রেজিনগুলো দূর করে দিয়েছি। এই উপাদানগুলো উচ্চ তাপমাত্রায় বাষ্পীভূত হয় এবং সেন্সরগুলোর উপর রাসায়নিক আবরণ তৈরি করে।
পরিবর্তে আমরা যান্ত্রিক সিল ও অ্যালয় ব্যবহার করি; এগুলো তাপ সহ্য করতে পারে।
ল্যাম্পের পৃষ্ঠটি আয়নার মতো মসৃণ করা থাকে। এটা শুধুমাত্র দেখার জন্য নয়; বরং এর ফলে কণাগুলো কোথাও আটকাতে পারে না। যদি আপনি এগুলোকে উচ্চ-ঘনত্বের অ্যারেতে ব্যবহার করেন, তাহলে পাওয়ার সাপ্লাইটিকে স্থিতিশীল রাখুন। ভোল্টেজ বেড়ে গেলে ফিলামেন্টটি কম্পন করে; এটা বারবার ঘটলে ল্যাম্পটি দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।
বাস্তবতা
উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ কিছুটা ভঙ্গুর। এটা তাপীয় ধাক্কা সহ্য করতে পারে, কিন্তু যান্ত্রিক ধাক্কা সহ্য করতে পারে না। যদি আপনার সিস্টেমে অনেক যান্ত্রিক কম্পন থাকে, তাহলে নিরাপত্তার জন্য ড্যাম্পড মাউন্ট ব্যবহার করুন।
আর, এক্সহস্ট ব্যবস্থাটিও ভালোভাবে পর্যবেক্ষণ করুন। কারণ তাপের ঘনত্ব খুব বেশি হওয়ায় আপনাকে দ্রুত আর্দ্রতা দূর করতে হবে। নইলে ওয়েফারগুলোর কিনারায় আর্দ্রতা জমে যাবে।