Out on the wafer floor wissen Sie, wie eine Softbake, die um nur 0,2°C abweicht, Ihre kritischen Maße beeinflusst, und eine Hardbake, die an den Rändern zu heiß läuft, Rückstände und Verunreinigungen hinterlassen kann. Wir haben die Cleanroom-Bank-Infrarotlampe entwickelt, um diese Variabilität aus dem Prozess zu eliminieren.
Was unter der Haube zählt
Sie arbeitet mit nahinfraroten (NIR) Quarzemitter, die schnell und gerichtet mit minimaler thermischer Trägheit heizen. Über die beleuchtete Zone hinweg halten wir die Wafer-Ebenen-Uniformität bei ±0,1°C, und die Regelung im Closed-Loop erreicht den Sollwert innerhalb von Sekunden. Das Gehäuse ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet, mit abgedichteten Verbindungen, niedrig ausgasenden Materialien und einem internen Luftstrom, der die Partikelbildung auf einstellige Werte pro Kubikfuß begrenzt. Die Leistung bleibt über mehr als 5.000 Stunden stabil, und die Wiederholgenauigkeit von Lauf zu Lauf ist gewährleistet.
In der Lithografie benötigen Sie eine gleichmäßige Softbake, um Lösungsmittel sauber auszutreiben, und eine Hardbake, die den Photoresist ohne Überraschungen aushärtet. Diese Lampe liefert beides mit präziser Kontrolle des thermischen Budgets. Das Ergebnis sind bessere CD-Uniformität und ein kleinerer Randwulst.
Außerdem reduziert die schnelle Reaktionszeit die Backzeit, was den Energieverbrauch senkt und die Durchsatzrate erhöht. Zudem gewinnen Sie Prozesssicherheit, insbesondere bei dünnem Resist und Mehrschichtstapeln. Weniger Ausschusschargen. Weniger Nacharbeit.
Einige praktische Hinweise: Die Lampe benötigt einen dedizierten, gefilterten Stromanschluss und muss mit genügend Abstand montiert sein, um Schattenbildung oder lokale Überhitzung zu vermeiden. Die Oberflächentemperaturen können während des Betriebs deutlich über die sichere Handhabungstemperatur steigen, deshalb sind Schutzvorrichtungen und Verriegelungen einzuplanen. Für beste Ergebnisse sollte das Emittierspektrum auf Ihren Resiststapel abgestimmt und die Temperatur in der Wafer-Ebene, nicht am Gehäuse, kalibriert werden.