Technische Unterstützung bei der Erwärmung der Wafer
Im Bereich der Lithografie lernt man schnell, dass bereits eine Abweichung vonhalb eines halben Grades bei der Erhitzung dazu führt, dass die...
Heizgerät zur Unterstützung des Photoresist Entfernens
Auf der Lithografie-Ebene ist das Abstreifen kein passiver Zwischenstopp – es ist ein thermischer Prozess, der seine Aufgabe sauber erfüllen muss....