Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, ist ein einziger Staubkorn nicht nur lästig – es handelt sich dabei um eine Katastrophe. Wenn die Heizelemente anfangen, Partikel abzugeben, ist die ganze Charge ruiniert.
Deshalb verwenden wir kein gewöhnliches Glas oder billigen Quarz. Diese Materialien neigen dazu, bei hohen Temperaturen zu splittern oder Ionen abzugeben. Stattdessen nutzen wir hochreinen gesinterten Quarz für unsere Waferheizer. Er bleibt stabil, gibt keine Gase ab und kann starke Temperaturschwankungen ohne Schäden an der Oberfläche verkraften.
Die Reinheit ist entscheidend
Wir legen großen Wert auf die Qualität des Quarzmaterials selbst. Durch den Einsatz von synthetischem gesintertem Silizium können wir die Verunreinigungen beseitigen, die normalerweise zu einer „Trübung“ der Oberfläche oder zum Ablöschen von Partikeln führen, wenn die Leistung erhöht wird.
Da es sich um eine kontaktlose Heizmethode handelt, übernimmt die Infrarotstrahlung die Arbeit. Sie trifft direkt auf die Waferoberfläche. Es kommt zu keinem Kontakt oder Reiben – somit entstehen auch keine mechanischen Defekte.
Die richtige Temperatur einstellen
Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem. Wir wählen Lampen mit hoher Wärmestärke aus, achten aber gleichzeitig auf die Leistung und Spannung. Warum? Weil, wenn zu viele Watt in einen kurzen Tubus eingeleitet werden, es im Zentrum des Wafer eine heiße Stelle gibt.
Wir haben die Geometrie der Filamente so angepasst, dass das nicht passiert. Dadurch entsteigt eine gleichmäßige Temperaturerhöhung. Bei Prozessen wie CVD oder Glühen ist diese Konstanz entscheidend.
Details zur Installation
Wir liefern diese Lampen mit präzise passenden Anschlüssen. Man braucht einen festen elektrischen Kontakt. Ein lockerer Anschluss im Reinraum ist ein Albtraum – er führt zu Entladungen und letztendlich zu metallischem Staub.
Achtung: Hochreiner Quarz ist etwas brüchiger als das industrielle Glas, an das man vielleicht gewöhnt ist. Er verträgt Hitze gut, doch er hasst es, heruntergefallen zu werden.
Behandeln Sie die Lampen vorsichtig. Nutzen Sie fusselfreie Handschuhe und vermeiden Sie plötzliche Erschütterungen während der Installation – sonst entstehen Risse in dem Quarzgehäuse.