در سالن لیتوگرافی، انحراف 0.2°C در دمای پخت رزین یک «انحراف کوچک» نیست. این یعنی افت بازده که به بیرون میرود. پخت نرم پروفایل حلال را تنظیم میکند. پخت سخت تصویر را ثابت میکند. هر دو نیاز به تأمین حرارت تکرارشونده دارند، ویفر به ویفر. وقتی پروفایل پخت نوسان دارد، کنترل ابعاد بحرانی (CD) از دست میرود، آلودگیها باقی میمانند و پس از توسعه، بقایای شستشو ظاهر میشود.
لامپ پخت رزین DUV ما بر گرمایش نزدیک به مادونقرمز تکیه دارد تا یک میدان حرارتی پایدار با یکنواختی زیر میلیمتر ایجاد کند. شما کنترل دمای سطح ویفر را دارید که داخل بودجههای حرارتی محدود باقی میماند، بنابراین هر پخت نرم و پخت سخت دقیقاً مشابه اجرای قبلی انجام میشود. انرژی مادونقرمز مستقیماً وارد رزین میشود که تأخیر و نوسان را کاهش میدهد. تکرارپذیری یک شعار نیست—این موضوع در هر نقطه تنظیم، هر سیکل، خود را نشان میدهد.
نسخه کوتاه؟ دما ثابت میماند چون حرارت دقیقاً به جایی میرود که لازم است، در زمانی که لازم است.
این لامپ با شرایط اتاق تمیز از Class 1 تا Class 100 سازگار است. ذرات کمی تولید میکند و از جریان هوا خارج است. تولید صفر ذره، استک رزین را تمیز نگه میدارد و واحد بدون نیاز به توقفهای برنامهریزینشده به صورت 24/7 کار میکند. در نتیجه، ابعاد بحرانی دقیقتر، تعداد دستههای اصلاح شده کمتر و عملکرد پخت قابل پیشبینی روی رزین فوتورزیست DUV خواهید داشت. مصرف انرژی کاهش مییابد چون حرارت به صورت مورد نیاز تأمین میشود و گرمای اضافی جرم محفظه تلف نمیشود.
نکات مهم در نصب: به جهتگیری و جریان هوا دقت کنید. لامپ بهترین عملکرد را زمانی دارد که مسیر نوری تمیز باقی بماند و جرم حرارتی اطراف هدف کنترل شود. تطبیق لامپ با جایگاه پخت موجود شما ممکن است به تنظیمات مکانیکی جزئی نیاز داشته باشد. اجرای یک آزمایش راهاندازی کوتاه برای قفل کردن دستور پخت برنامهریزی شود، سپس فرایند پایدار باقی میماند.