در فرآیند لیتوگرافی، دمای مناسب برای پختن ویفرها، یک موضوع اختیاری نیست؛ بلکه یک محدودیت ضروری است. لازم است که روغن‌ها به طور یکنواخت از سطح ویفرها...

در سالن لیتوگرافی، انحراف 0.2°C در دمای پخت رزین یک «انحراف کوچک» نیست. این یعنی افت بازده که به بیرون می‌رود. پخت نرم پروفایل حلال را تنظیم می‌کند....