در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که حتی نیم درجه تغییر در دما، میتواند باعث خروج کدکهای CD از محدوده استاندارد شود. همچنین، اگر دمای حرارتی در لبهها بالا برود، باعث ایجاد لکههایی روی سطح ویفر میشود که این امر مانع از بررسی صحیح ویفر میگردد. گرم کردن ویفر، یک مرحله جانبی نیست؛ بلکه این کار، پایه و اساس تنظیم دمای هر لایه از ویفر را فراهم میکند. وقتی که یکنواختی دما از بین برود، نمیتوان ویفر را برای استفاده ارسال کرد؛ بلکه باید روزهای خود را صرف جبران این اختلافات کنیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما از منابع مادون قرمز کنترلشده برای گرم کردن ویفر استفاده میکنیم؛ این منابع شامل امواج کوتاه و متوسط هستند. همچنین از عناصر کوارتز-هالوژن نیز برای کنترل دما استفاده میشود تا پاسخ سریعی از سوی دستگاه حاصل شود. معیار مهم، یکنواختی دما است؛ یعنی تغییر دما در سطح ویفر نباید بیشتر از ±۰.۱ درجه باشد. همچنین، سازگاری دستگاه با محیطهای پاک نیز بسیار مهم است؛ بنابراین دستگاه برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است. این سیستم ۲۴/۷ کار میکند؛ دمای لامپها نیز تحت کنترل است و تغییرات دما نیز جبران میشود. بنابراین، دمای مورد نظر، دمای واقعی است، نه یک امید بیپایه.
مزایای این روش: شما میتوانید فرآیندهای گرم کردن نرم و سخت را با یک الگوی حرارتی یکسان انجام دهید؛ این کار باعث کاهش تغییرات در کدکهای CD میشود. همچنین، این روش باعث کاهش هزینههای تولید میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپها بر اساس نیاز گرم میشوند و حجم حرارتی کمی دارند. همچنین، کاهش نیازهای نگهداری، باعث میشود که دستگاه به طور مداوم کار کند. در کارخانههایی که تولید در آنها بالاست، گرمایش پایدار، منجر به کاهش توقفات در خط تولید و کاهش هزینههای تولید در هر ویفر میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفته شوند: سیستم نیاز به ولتاژ پایدار و مدیریت مناسب حرارتی در نقاط تماس لامپها دارد؛ تغییرات ولتاژ باعث نوسانات دما میشود. محدودیتهای نصب نیز بسیار مهم هستند؛ زیرا تنظیمات دستگاه مستقیماً بر الگوی روشنایی و در نتیجه، یکنواختی دما تأثیر میگذارد. بنابراین، باید از همان ابتدا، فضای لازم برای نصب دستگاه را در نظر گرفت؛ تغییرات بعدی میتواند منجر به مشکلاتی شود.