پشتیبانی فنی برای گرم کردن ویفرها
در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که حتی نیم درجه تغییر در دما، میتواند باعث خروج کدکهای CD از محدوده استاندارد شود. همچنین، اگر دمای...
گرمکننده پشتیبانی حذف فوتورزیست
در بخش لیتوگرافی، استریپینگ یک توقف غیر فعال نیست—این یک فرآیند حرارتی است که باید بهطور کامل و تمیز انجام شود. نیاز است که فوتورزیست بهطور کامل...