در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، رطوبت باقیمانده پس از شستشو، مشکلی است که تا زمانی که دیر شود، متوجه آن نمیشویم. این رطوبت وارد لایههای فوتورزیست میشود و باعث اختلال در تعادل حرارتی میگردد؛ همچنین پس از عکاسی، باعث ایجاد ناهمواریهایی روی سطح ویفر میشود. لامپهای گرمایشی مورد استفاده برای حذف رطوبت، به منظور جلوگیری از این مشکلات ساخته شدهاند.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از لامپهای هالوژنی با فیلامنتهای پاسخگوی سریع استفاده میکنیم؛ بنابراین گرما دقیقاً در جایی که لازم است تولید میشود. دقت دمایی در سطح ویفر، ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع دلیلی است که الگوهای گرمایشی مربوط به فرآیندهای مختلف، از شیفتی به شیفت دیگر یکسان باقی میمانند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ این دستگاه از موادی با میزان گازخروجی کم ساخته شده است و طراحی آن به گونهای است که ایجاد ذرات در اتاق صفر باشد. خروجی دمایی این دستگاه در محدوده ۲۰۰ تا ۴۵۰ درجه سانتیگراد، با دقت بالایی ثابت میماند؛ بنابراین فرآیندهای خشککردن و تثبیت ویفر بدون هیچ اختلال حرارتی انجام میشود.
چرا این دستگاه قابل اعتماد است؟
نیاز است که فرآیند گرمایش در ساعت ۲ بامداد نیز همانند ساعت ۲ بعدازظهر عمل کند. این لامپ این تعادل را فراهم میکند؛ یعنی رطوبت سطحی ویفر را حذف کرده، ویفر را قبل از عکاسی تثبیت میکند، و سپس تصویر را پس از فرآیند توسعه، ثابت نگه میدارد. نتیجه این کار، کاهش تعداد کالاهای بازسازیشده، کاهش مقدار مواد بیفایده، و کنترل دقیق کیفیت ویفر است.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا دستگاه به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و به راحتی از حالت استراحت به حالت کاری تغییر میکند. این دستگاه میتواند ۲۴ ساعته بدون هیچ وقفهای کار کند. این دستگاه میتواند به عنوان جایگزین لامپهای گرمایشی ساخته شده توسط تولیدکنندگان اصلی استفاده شود؛ بنابراین نیازی به تغییراتی در ساختار کلی دستگاه نیست.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرد؟
نصب این دستگاه روی تجهیزات استاندارد به راحتی امکانپذیر است؛ اما تنظیم موقعیت لامپ بسیار مهم است. لامپ باید در فاصله مشخصی از سطح ویفر قرار گیرد؛ در غیر این صورت، مشکلاتی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. باید با لامپ مراقب بود؛ هیچ اثر انگشت یا ماده حلکنندهای روی لامپ نباید وجود داشته باشد؛ همچنین باید در اولین بار استفاده، کارایی لامپ و وضعیت بازتابندههای آن را بررسی کرد.
در هنگام تثبیت خروجی دمایی، مدت زمان کوتاهی طول میکشد؛ پس از آن، دمای مورد نظر ثابت شده و فرآیند ادامه مییابد.