Comment maintenir vos wafer MEMS propres pendant le processus de séchage
Lorsque vous séchez des wafer de capteurs MEMS, la chaleur n’est que la moitié du problème. Le vrai défi réside dans les particules présentes dans l’air. Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous savez déjà quel cauchemar cela représente : une seule petite particule peut ruiner toute votre production.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté. Elles fonctionnent vraiment bien.
Pourquoi le quartz est important
Le quartz standard contient des impuretés. Lorsque la température augmente, ces impuretés se décomposent et libèrent des micro-particules dans l’air. Ce n’est pas bon.
Nous utilisons donc de la silice fusionnée de haute pureté. Elle ne cristallise pas et ne libère aucune particule, même lorsque la température varie rapidement. Elle reste stable.
Le principe de fonctionnement est plutôt intéressant : les rayons infrarouges atteignent la couche liquide sur le wafer et l’évaporent presque instantanément. Comme nous utilisons un spectre à courte longueur d’onde, l’énergie va directement vers l’eau. Il n’est donc pas nécessaire de chauffer toute la chambre pour sécher un wafer.
Éliminer les impuretés
Nous avons étudié attentivement la structure de la lampe et avons éliminé les adhésifs et résines bon marché. Ces matériaux représentent un risque : ils libèrent des gaz à haute température et laissent une couche chimique sur les capteurs.
Au lieu de cela, nous utilisons des joints mécaniques et des alliages capables de résister à la chaleur sans se détériorer.
Vous remarquerez que la surface de la lampe est polie jusqu’à obtenir un fini miroir. Ce n’est pas juste pour l’aspect visuel ; cela signifie qu’il n’y a aucun endroit où les particules peuvent s’accrocher. Un conseil utile si vous connectez ces lampes dans un réseau à haute densité : assurez-vous que l’alimentation électrique soit stable. Si vous avez des fluctuations de tension, le filament vibrera. Cela entraînera une destruction prématurée de la lampe.
La réalité
Le quartz de haute pureté est un peu fragile. Il résiste bien aux chocs thermiques, mais il ne peut pas supporter de vibrations physiques. Si votre installation présente beaucoup de vibrations mécaniques, vous aurez besoin de systèmes de suspension pour protéger la lampe.
De plus, veillez bien à évacuer rapidement l’humidité. Comme la densité thermique est très élevée, il est nécessaire d’évacuer rapidement l’humidité. Sinon, l’humidité se déposera à nouveau sur les bords des wafer.