שמירה על רמת ניקיון מושלמת של שבבי MEMS במהלך תהליך הייבוש
כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS, החום הוא רק חלק מהבעיה. האתגר האמיתי הוא להילחם בחלקיקים השונים. אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כבר יודעים מה זה אומר: חלקיק קטן בלבד של חומר מזוהם יכול להרוס את כל השבבים.
לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מסוג קוורץ בעל טוהר גבוה. הן פשוט עובדות טוב.
למה חשוב הקוורץ?
לרוב, לקוורץ יש חומרים מזהמים. כאשר הטמפרטורה עולה, החומרים האלו מתפרקים ויוצרים חלקיקים זעירים שנכנסים לזרם האוויר. זה לא טוב.
אנו משתמשים בסיליקה מותכת בעלת טוהר גבוה. היא אינה מתגבשת או “נושרת” כאשר הטמפרטורה משתנה במהירות. היא נשארת במקומה.
העקרון שבבסיס עבודתה של נורה זו הוא מעניין: קרינת האינפרא-אדום פוגעת בשכבה הנוזלית שעל השבב וגורמת לה לאדות במהירות. מכיוון שאנו משתמשים בספקטרום גלים קצרים, האנרגיה מגיעה ישירות למים. אין צורך לחמם את כל החדר כדי לייבש את השבבים.
דרכים להימנע מחומרים מזהמים
בדקנו בקפידה את מבנה הנורה והסרנו את חומרי ההדבקה והרזינים הזולים. חומרים אלו יוצרים חומרים מזהמים בטמפרטורות גבוהות. במקום זאת, אנו משתמשים בחומרים שיכולים לעמוד בחום מבלי להישחק.
ניתן לראות שפני הנורה מלוטשים לחלוטין. זה לא רק למראה – זה אומר שאין מקום שבו חלקיקים יכולים להיצמד. טיפ חשוב: אם אתם מחברים את הנורה למערכת בעלת צפיפות גבוהה, ודאו שמקור האנרגיה יציב. אם יש עליות פתאומיות במתח, החוטים של הנורה ירטטו, וזה עלול לגרום לנורה להישחק מוקדם מדי.
המציאות
קוורץ בעל טוהר גבוה הוא פגיע למדי. הוא יכול לעמוד בשינויי טמפרטורה, אך אינו יכול לעמוד בחום גבוה. אם המערכת שלכם חווה רטטים מכניים רבים, תצטרכו מערכות ספיגה כדי למנוע נזק.
כמו כן, חשוב לוודא שהאוויר החם יוצא מהמערכת במהירות. אחרת, עלולה להיווצר ערפול על גבי שולי השבבים.