במחלקת הליתוגרפיה, לומדים מהר שאפילו שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה יכול לגרום לסטייה בתכונות ה-CD. ואם החימום החזק יהיה חם מדי באזורים מסוימים, ייווצרו...

על רצפת הליתוגרפיה, הסרת הפוטורזיסט אינה עצירה פסיבית – זו תהליך תרמי שצריך לבצע את תפקידו בניקיון מוחלט. יש צורך שהפוטורזיסט יוסר במלואו, ללא...