फैब फ्लोर पर, बेकिंग तापमान में 0.5°C का बदलाव भी उत्पादन प्रक्रिया में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है… और इसी कारण ही बहुत सारा उत्पादन बर्बाद हो जाता है। वेफर-स्तर पर तापीय समानता एवं फोटोरेसिस्ट के गुणधर्मों में निरंतरता, कोई सैद्धांतिक अवधारणा नहीं है… बल्कि ये ही वे तत्व हैं जिनका उपयोग हर शिफ्ट में उत्पादन की गुणवत्ता बनाए रखने हेतु किया जाता है। क्वार्ट्ज हैलोजन इन्फ्रारेड एमिटर, आवश्यक स्थानों पर स्थिर एवं शुद्ध ऊष्मा प्रदान करते हैं… ऐसे स्थान जहाँ तापीय नियंत्रण बहुत महत्वपूर्ण है, एवं प्रक्रिया में कोई त्रुटि भी स्वीकार्य नहीं है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
क्वार्ट्ज हैलोजन लैंप, तेज़ प्रतिक्रिया एवं उच्च स्पेक्ट्रल नियंत्रण के साथ शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊष्मा प्रदान करते हैं… इससे तापमान को तेज़ी से बढ़ाया जा सकता है, बिना किसी अतिरिक्त ऊष्मा के। हम 300 मिमी आकार के वेफर पर ±0.1°C की सीमा में तापीय समानता सुनिश्चित करते हैं… ताकि फोटोरेसिस्ट को सतह पर समान ऊर्जा मिल सके। क्लीनरूम में भी इन उपकरणों का उपयोग संभव है… क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी इन उपकरणों से कोई कण उत्पन्न नहीं होता। 5,000 घंटों तक भी इन उपकरणों से ऊर्जा-उत्पादन स्थिर रहता है… जिससे 24/7 ऑपरेशन संभव होता है, एवं रखरखाव भी आसान हो जाता है।
लिथोग्राफी में इन उपकरणों का उपयोग क्यों आवश्यक है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो प्रक्रिया के अनुसार ही उपलब्ध हो… न कि उल्टा। ये एमिटर, प्रक्रिया के तापीय प्रोफाइलों के अनुसार ही काम करते हैं… जिससे लाइन-विस्तार में कमी आती है, एवं उत्पादन की गुणवत्ता में सुधार होता है। इन उपकरणों से सॉल्वेंटों का वाष्पीकरण भी नियंत्रित हो जाता है… एवं वेफरों को दोबारा प्रसंस्करण हेतु भेजने की आवश्यकता भी नहीं पड़ती। दक्षता में वृद्धि होती है… क्योंकि इन्फ्रारेड ऊष्मा का नियंत्रण बेहतर होता है, एवं तापीय ऊर्जा कम होती है… इससे अनप्लान्ड डाउटाइम में कमी आती है… ऊर्जा-उत्पादन स्थिर रहता है, ठंडक भी बनी रहती है… एवं निगरानी हेतु पहले से ही उपलब्ध इंटरफेसों का ही उपयोग किया जाता है। इसके परिणामस्वरूप उत्पादन-दर में वृद्धि होती है… बर्बाद होने वाले उत्पादों की संख्या कम हो जाती है… एवं OEE भी स्थिर रहता है।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान देना आवश्यक है?
स्थापना के दौरान आवश्यक है कि रिफ्लेक्टर ठीक से मेल खाएं, एवं शीतलन प्रणाली भी सही तरह से काम करे। एयर-कूल्ड उपकरणों में तो हवा का प्रवाह बनाए रखना आवश्यक है… अन्यथा क्वार्ट्ज उपकरण अधिक गर्म हो जाते हैं, एवं स्पेक्ट्रम में भी परिवर्तन हो जाता है। सिस्टम को थर्मल कंट्रोलर एवं SPC लॉगिंग सिस्टम से जोड़ना आवश्यक है… ताकि सेटपॉइंट्स स्थिर रहें, एवं परिवर्तनों की जानकारी भी समय रहते ही मिल सके। स्थिर अवस्था तक पहुँचने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… इसलिए बेकिंग का समय भी उचित रूप से निर्धारित करना आवश्यक है। जब ये उपकरण प्रक्रिया के अनुसार ही काम करते हैं, तो उनसे उच्च-गुणवत्ता वाला उत्पादन होता है।