वास्तविक प्रक्रियाओं में, थर्मल ड्रिफ्ट कोई सिद्धांत नहीं है… बल्कि यह तो अनावश्यक चीज है। वेफरों को सुखाने, फोटोरेजिस्ट को सुखाने, एनकैप्सुलेंट को सूखाने, एवं सफाई के बाद वेफरों को सुखाने जैसी प्रक्रियाएँ सभी नियंत्रित तापमान पर ही होती हैं। यदि तापमान नियंत्रण में न रहे, तो उत्पादन प्रक्रिया में गड़बड़ियाँ हो जाती हैं, उत्पादों की गुणवत्ता खराब हो जाती है, एवं दोषपूर्ण उत्पाद ही बाहर आते हैं।
वास्तविक प्रक्रियाओं में क्या महत्वपूर्ण है?
हम SiC फर्नेस लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंप तेज़ एवं सटीक तापमान नियंत्रण प्रदान करते हैं। इन लैंपों का डिज़ाइन ऐसा है कि तापमान तेज़ी से बढ़ सके, एवं तापमान स्थिर रह सके। इससे वेफरों पर तापमान समान रहता है। ये लैंप क्लीनरूम-उपयुक्त हैं… कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, एवं ऐसी संरचना है जो क्लास 1–100 वाले वातावरणों में भी उपयुक्त है। वास्तव में, इसका अर्थ है कि वेफरों पर एक ही तरह की प्रक्रियाएँ लागू होती हैं, एवं उत्पादन प्रक्रिया में कोई गड़बड़ी नहीं होती… एवं हवा में मौजूद प्रदूषकों का खतरा भी नहीं होता।
वास्तविक प्रक्रियाओं में इन लैंपों का उपयोग क्यों महत्वपूर्ण है?
वेफरों को सुखाने में, ये लैंप सतह पर मौजूद नमी को जल्दी ही हटा देते हैं… बिना सब्सट्रेट को नुकसान पहुँचाए। लिथोग्राफी में, ये लैंप फोटोरेजिस्ट को समान रूप से सुखाने में मदद करते हैं… इससे वेफरों पर तापमान समान रहता है। पैकेजिंग में, ये लैंप एनकैप्सुलेंटों को समय पर सूखाने में मदद करते हैं… इससे उत्पादों में कोई दोष नहीं आता। इसका परिणाम है कि उत्पादन प्रक्रिया में कम गड़बड़ियाँ होती हैं, चक्र-समय स्थिर रहता है, एवं प्रति बैच में ऊर्जा की खपत कम होती है… क्योंकि ऊर्जा का उपयोग केवल आवश्यकता के अनुसार ही होता है।
इंटीग्रेशन के संदर्भ में…
ये लैंप मानक फर्नेस पोर्टों में ही फिट होते हैं… लेकिन फिर भी इंटरफेस के आयाम, ऊर्जा-कनेक्शन, एवं नियंत्रण संकेतों की जाँच आवश्यक है।
शुरुआत में, थोड़ा समय लगता है… इसे उत्पादन प्रक्रिया में ही शामिल कर देना चाहिए, ताकि उत्पादन समय सटीक रहे।
सबसे अच्छी गुणवत्ता हेतु, एमिटर एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी को नियंत्रित रखना आवश्यक है… एवं रिफ्लेक्टरों को भी साफ रखना आवश्यक है। अक्सर, प्रक्रिया में गड़बड़ियाँ ऑप्टिक्स से ही शुरू होती हैं… इलेक्ट्रॉनिक्स से नहीं।