300 मिमी लाइन पर, सफाई के बाद भी वहाँ नमी बनी रहती है। यह नमी फोटोरेजिस्ट स्टैक में घुस जाती है, जिससे थर्मल बैलेंस बिगड़ जाता है। एक्सपोज़र के बाद यह नमी “फुटिंग” या “टी-टॉपिंग” के रूप में दिखाई देती है। वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंपों का उपयोग किया जाता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव हैलोजन क्वार्ट्ज लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंपों में तेज़-प्रतिक्रिया वाले फिलामेंट होते हैं, इसलिए ऊष्मा ठीक उसी जगह पहुँचती है जहाँ आवश्यक है। बेकिंग ज़ोन में तापमान की एकरूपता ±0.1°C होनी चाहिए। इसी कारण ही “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ निरंतर चलती रहती हैं।
यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में क्यों उपयुक्त है?
यह उपकरण कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों से बना है, एवं इसकी डिज़ाइन ऐसी है कि कोई कण भी न बने। 200°C से 450°C तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है; इसलिए डिहाइड्रेशन बेकिंग एवं पोस्ट-एप्लाई स्टेबिलाइजेशन प्रक्रियाएँ बिना किसी समस्या के हो जाती हैं।
यह उपकरण क्यों उपयोगी है?
बेकिंग प्रक्रिया को 02:00 एवं 14:00 दोनों समयों पर एक ही तरह से चलना आवश्यक है। यह लैंप ऐसा ही करता है – सतह से नमी हटाता है, एक्सपोज़र से पहले फोटोरेजिस्ट को स्थिर करता है, एवं डेवलपमेंट के बाद छवि को स्थिर रखता है। इसके परिणामस्वरूप कम रीवर्क, कम अपशिष्ट, एवं बेहतर CD नियंत्रण होता है।
ऊर्जा उपयोग क्यों कम है?
यह लैंप तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं आइडल स्थिति से प्रक्रिया शुरू हो जाती है। यह 24/7 काम कर सकता है, बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के। ओएमई हीटर लैंपों के समान ही, यह भी मौजूदा प्रणालियों में ही काम कर सकता है – पूरे मॉड्यूल को पुनः प्रमाणित करने की आवश्यकता नहीं है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
सामान्य फिक्सचरों पर इसकी स्थापना आसान है, लेकिन सही संरेखण आवश्यक है। लैंप को निर्धारित फोकल ऑफसेट के भीतर ही रखें; अन्यथा गर्मी संबंधी समस्याएँ हो सकती हैं। क्वार्ट्ज को सही तरीके से ही हैंडल करें – उस पर उंगलियों के निशान या कोई विलायक न लगे। पहली बार इस्तेमाल करते समय चैंबर की विकिरण क्षमता एवं रिफ्लेक्टर की स्थिति की जाँच अवश्य करें।
आउटपुट स्थिर होने में कितना समय लगता है?
आउटपुट स्थिर होने में थोड़ा समय लगता है। उसके बाद ही निर्धारित तापमान पर ही प्रक्रिया जारी रखी जा सकती है।