ウェーハ加熱時の安全距離

スマートファブでの適切な熱処理の実現法 もしインダストリー4.0対応の工場を構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。私たちは「設定しておけば何もしなくてよい」という考え方から離れ、実際のデータに基づいて処理を行う方向へと進んでいます。ウェーハの加熱に...