熱の無駄遣いを止めよう：なぜクォーツ製のシールドがファブ内のラムプにとって重要か 半導体ファブを運営しているとき、最も避けたいのは、加熱用のランプがウェーハを汚してしまうことです。それは大変な問題です。そのため、私たちは高純度のクォーツガラス製のシールドを使用します。 これらは、ランプの「ボディー...

ファブの現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェハの重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。そうなると、多くのウェハが廃棄されてしまいます。ウェハ全体の温度均一性や、再現性の高いフォトレジストの特性は理論上の話ではありません。これらこそが、歩留まりを守るために毎シフトで確実に実行...